就这样不知多长时间过去,才见罗长辉率先停下动作抬起视线。
“你准备采用氟化氙光源方案?”
“没错。”徐昀点头回答。
他耗费积分得到的光源制造方向正是氟化氙光源。
相比市面上常见的其它光源,氟化氙光源性能更优适合用于光刻。
不过其制作难度较大。
国内始终没有解决此光源面对的问题。
罗长辉显然很清楚各种光源的情况,因此看到文件中内容后便基本确定很大概率是可行的。
也就是说只要他们按照这份文件中的设计方案来制造氟化氙光源,那么就有可能成功,如此便相当于彻底解决了高端光刻机的光源问题,大幅度缩短国产高端光刻机的研发进度。
但他最震撼的,还是设计方案出自徐昀之手。
他可以确定徐昀在加入项目成为负责人前,应该是没有系统性研究过光刻机的。
也就是说徐昀在短短十几天内,不但确定了研究方向还完成了方案。
简直就是妖孽。
尽管早就听说徐昀的天赋非常强大,连续创造出了多项不同领域内的奇迹。
不过这并没有什么清晰概念。
而现在他见识到了。
强行压制住内心无比的激动,他再次确认道:“这份方案是你写出来的?”
“虽然还没有进行实际测试,但我觉得这项理论是可行的。”
徐昀面色平静回复一句,接着又反问道:“罗院士以为这项理论能行吗?”
“可以试一试。”罗长辉沉声答道。
就目前而言他们并没有其它成熟的光源方案,徐昀的氟化氙光源确实是最佳选择。
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