第122章 三大件的解决方案 (2 / 4)

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        他们也没办法只在本国,就找到光刻机全部零部件的供应商,得全球多国合作协同才行。

        而巨大的资源协调成本,更是会大大加重整个研发项目的费用和时间,

        这也是华国的很多产品,能做到成本远低于国外厂商的主要原因之一。

        总之,无论常春光所有没有突破EUV光源的技术,康驰都可以尝试着借用他的研发制造能力,来迅速获得一套可行的光源系统。

        现在光刻的光有了,

        下一步就是把光,通过一个光学系统,收集并投影到涂上了光刻胶的硅片上面。

        这个光学系统,也是整台光刻机中,造价成本占比最大的。

        这部分康驰准备对大秦光学的镜头生产线,进行升级,然后把它给拆了,直接获得光刻机镜片和反射镜制造,所需要的大部分设备零件。

        这么做的效率无疑会高很多,

        而且升级后的生产线,估计连解析项目都没有,

        因为里面的大部分技术,康驰在解析光刻机的时候,就已经得到了,他本人拥有非常大的解释空间。

        唯一的缺点就是,需要他在接下的项目中,进行一定的混淆视听,把这些拆分开的组件,神不知鬼不觉地掺到整个项目里去。

        嗯,

        就是欺负严辉他们对光刻机没啥研究,

        到时候估计也是康驰让他们干什么,他们就干什么,思考空间并不多。

        至于光刻机最后的一个关键系统,则是承载硅片的双工件台系统。

        它的工作原理很简单,就是在光刻中不断的挪动硅片的曝光部位,但其中的技术含量其实非常大。

        因为这个工作平台必须快、准、狠。

        速度,决定了光刻机的效率,

        移动太慢了,光刻机的产量就不行,

        这就要求它,在高速移动后,还得迅速且精准地停下,

        停留的位置误差,还得在1nm以内,

        但凡偏差大一点,整个晶圆就直接报废了!

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