他从仪器中,取出了检验的晶圆平静的说道。
“这么高的误差,表示我们依旧无法生产10纳米以下的芯片!”
“距离目前世界上高精度芯片还有着相当的距离。”
围绕在一旁的研究人员,以及专家无不底下头来。
话虽然是这么说,可对比起他们之前的光刻机技术已经成长了许多了。
尽管成功率不算高,在此之前也已经制造出几片5纳米规格的芯片。
贺老平静的说道。
“另外,我在这里宣布一个好消息,以及一个坏消息。”
贺志远的声音,让众人再度抬起头来。
这种说话语气,可不像是贺老啊。
不过,光电研究团队,还是流露出好奇。
“贺老,您说!”
贺志远点了点头,平静的说道。
“目前,其实我们的曝光系统其实已经基本没有问题。“
“脉冲冷激光经过反射后,完全能够用于光刻。”
他的语气一顿,继续说道。
“先说坏消息。”
“现在的问题在于,光刻机的对准系统出现了问题。”
“在晶圆光刻后,始终会出现一定的偏差!”
贺志远突然流露出一丝微笑。
“至于好消息是,我已经想到了解决这个问题的方法!”
“如果不出意外,目前我们所掌握的光刻技术,至少能够制造出1纳米级别的芯片!”
正当众人准备鼓掌的时候。
贺志远举起了手制止了众人。
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