第85章 研发成功了! (4 / 4)

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        “还没成功呢!”

        “何况这点成就,与苏总工的冷核聚变来说,根本不足为题。”

        “你们快去将光刻机的模具拿过来,还有光刻机对准系统的工作日志打印下来。”

        “我现在就要对于光刻机的对准系统,进行改良!”

        在贺老的言语之下,实验室里的众人立刻忙碌了起来。

        贺志远看着头顶明亮的灯泡,流露出笑容。

        其实能够在这么短的时间内,光刻机取得阶段性的进展,还是取决于苏川。

        首先是,对于苏川提出脉冲冷激光的想法,直接改变了他的思路。

        这段时间,他们一直在研究脉冲冷激光。

        在此之前,尝试的极紫外光最多也就保证10纳米到15纳米精度的光刻。

        脉冲冷激光则既然相反。

        在理论上甚至能够达到1纳米级别,甚至更为精细的光刻!

        他们在短时间内,光刻机的核心技术,曝光系统突飞猛进。

        反而是对准系统,开始拖后腿了。

        不过在今天发生的低频电磁脉冲意外后。

        实验室里不断闪烁的灯光,给了贺老灵感。

        没错,对准系统的解决方法很简单。

        只需要反复关闭启动脉冲冷激光,以闪烁的方式进行光刻,在光刻中因为持续运作所造成的误差,可以大幅度减少。

        贺老看着几名工作人员递交过来的对准系统运行日志,以及晶圆模具笑了起来。

        一切与他计算的一致!

        从另外的一个角度来说。

        大夏的高精度光刻机,已经可以提前宣布,研发成功了!

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